1、沸石轉輪

　　沸石濃縮轉輪的主要成分為高硅鋁比沸石的吸附劑，可利用沸石特定孔徑對于半導體、汽車涂裝及光電業主要有機污染物(IPA、Acetone、PGME、PGMEA)具高吸、脫附效率的特性，使原本具高風量、低濃度的VOC廢氣，經沸石濃縮轉換成低風量、高濃度的廢氣，降低后端終處理設備的成本。燃燒處理后的熱能將自動運用于蓄熱室預熱進入燃燒機的高濃度廢氣，以及用于提供脫附濃縮轉輪污染物所需的熱氣。

　　沸石轉輪結構吸附VOC污染物所產生的壓降相當低，可使風機所需之電力減到最少。

　　由于處理濃縮后的風量僅為進入系統風量的5%到20%，因此可相對縮小焚化尺寸，以維持更低的燃料成本。濃縮倍率介于5倍到20倍之間時。廢氣VOC去除率能夠達到90-95%。一般項目要求VOC去除率為90%。

　　每個轉輪分為三個區：吸附區、脫附區、冷卻區。每個區輪流執行各自的功能。在制作，安裝時候保證每個區的密封。

　　沸石轉輪

　　2、RTO蓄熱式氧化

　　RTO（Regenerative Thermal Oxidizer，蓄熱室氧化器）主要包括蓄熱室、氧化室、風機等，它通過蓄熱室吸收廢氣氧化時的熱量，并用這些熱量來預熱新進入的廢氣，從而有效降低廢氣處理后的熱量排放，同時節約了廢氣氧化升溫時的熱量損耗，使廢氣在高溫氧化過程中保持著較高的熱效率（熱效率95%左右），其設備安全可靠、操作簡單、維護方便，運行費用低，VOCs去除率高。

　　RTO的工作原理是：有機廢氣首先經過蓄熱室預熱，然后進入氧化室，加熱升溫到800℃左右，使廢氣中的VOCs氧化分解成CO2和H2O；氧化后的高熱氣體再通過另一個蓄熱室熱處理，然后煙氣排出RTO系統。這個過程不斷循環再生，每一個蓄熱室都是在輸入廢氣與排出處理過的氣體的模式間交替轉換。切換時間根據實際情況可以調整。